作为深受多家晶圆厂青睐的“明星”搬运工,这款OW系列机器人深藏多项“独门绝技”:移动精度在2㎜以内、对接精度在1㎜以内……与多数机器人因荷载多而广受欢迎不同,OW系列机器人能快、准、稳地搬运晶圆片盒。它“温柔”的轻拿轻放,将振动值控制在0.1G以内,以减少因外力而造成对薄如蝉翼的晶圆损耗度。
机器人是如何做到的?跟着潮新闻记者走进它的诞生地——吴兴高新区的优艾智合机器人湖州生产基地,一起去看看!
本文摘自:网络 日期:2024-01-16
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